国家知识产权局信息数据显现，山东产研微纳与智能制作研讨院有限公司请求一项名为“一种碳化硅-碳氮化硅-氮化硅复合薄膜及其制备办法”的专利，公开号CN121823466A，请求日期为2025年12月。

  专利摘要显现，本发明触及半导体资料技术领域，详细触及一种碳化硅‑碳氮化硅‑氮化硅复合薄膜及其制备办法。本发明供给的碳化硅‑碳氮化硅‑氮化硅复合薄膜，经过层间梯度组分规划，能有用抵消MEMS器材制备过程中（如堆积、退火、刻蚀）产生的剩余应力，防止传统单一薄膜因应力不匹配导致的结构翘曲、裂纹萌发或脱层问题。

  天眼查资料显现，山东产研微纳与智能制作研讨院有限公司，成立于2020年，坐落济南市，是一家以从事研讨和试验开展为主的企业。企业注册资本3300万人民币。经过天眼查大数据分析，山东产研微纳与智能制作研讨院有限公司参加招投标项目19次，专利信息11条，此外企业还具有行政许可5个。

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